半導体静電チャック用セラミックヒーターは、静電チャックの底部に設置または内部に組み込まれた加熱装置を指し、チャック上のウェハーを均一に加熱して、プロセス中に必要な温度条件を維持することで、プロセス品質と生産効率の向上を図るものです。br セラミックヒーターの基本構造は、ウェハーを載せるセラミック基板、背面を支える円筒状の支持体、そしてセラミック基板の内部または表面に設置された加熱抵抗素子および高周波電極で構成されています。迅速な昇降温を実現するため、セラミック基板の厚みは可能な限り薄くする必要がありますが、薄すぎると剛性が低下するため、剛性を確保しつつ厚みを最小化することが求められます。